質量流量控制器是一種精細、快速、可靠、穩定和靈活的流量測量儀器。它使用熱量測量來測量被分裂分子帶走的分子質量的流量。由于是熱工測量，結果不會受到氣體溫度和壓力變化的影響。它將廣泛應用于石油加工、化工等領域，相信在促進流量測量方面將顯示出巨大的潛力。它是一種可以同時檢測和控制的儀器。除了測量部分之外，它還有電磁調節閥或壓電閥，使得質量流量控制器本身構成用于控制流體質量流量的閉環系統。設定值可由模擬電壓、模擬電流或計算機或PLC提供。

　　快速的控制響應既能保證設備快速達到設定值，又能保持穩定的流量，避免受到壓力波動的影響。毫無疑問，設備的響應速度對測量精度和穩定的流量控制起著至關重要的作用?？蓪崿F無壓力損失，由于其特殊的方法集成制造使探頭可做到很小的尺寸，因而對流體幾乎沒有壓力損失，在很多場合下，直接取代壓力開關將使系統具有更好的可靠性和更廣的適用范圍。

　　物理時間常數：物理時間常數用字母Tau  希臘表示，是目前為數不多的用來描述響應時間的標準。即控制器達到設定值的某個百分比所需的時間定義為1-1/e，其中e是以自然對數為底的無理數，其值為2.72，所以1-1/e是設定值的63.2%。雖然這個定義是一個物理標準，但可能并不能說明什么，因為剩下的36.8%的設定值可能比之前的63.2%花費的時間更多或更少。

　　設定值的任意百分比變化區域質量流量控制器的很多技術參數都是通過設定值在一定百分比范圍內的變化來定義設備的響應速度，例如從設定值的10%達到90%所需的時間。由于10%控制響應曲線變化較大，由此得出的控制響應速度不一定等于實際控制性能。

　　穩定時間：由于控制器在達到設定值后可能會超調，所以廠家通常以達到設定值并穩定所需的時間作為設備的響應速度，并給波形振蕩幅度一個允許的范圍。例如，2%的允許范圍意味著流量波動穩定在設定值的2%以內。一般情況下質量流量控制器的精度在0.5%到2%之間，但一些制造商已經將穩定的允許范圍擴展到10%。如果用戶希望將流量控制在所需的設定值，其穩定的允許范圍也要在設備精度范圍內。