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    GT180MAX質量流量控制器

    氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。
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    產品描述

    GT-180MAX質量流量控制器

    使  說 明

     

    技術特點

     

    • 微處理器控制
    • MFC內部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實現不同工況條件下進行高速精確的流量控制。

    • RS-485總線接口
    • MFC內置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式??赏ㄟ^RS-485總線組網,實現多臺MFC同時控制。

    • 便捷標定方法
    • 可通過專用標定軟件對MFC進行標定,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。

    • 緊湊的外形尺寸
    • MFC尺寸非常小巧緊湊,用戶使用時,不但能夠減小系統體積和重量,同時能夠集成更多的功能模塊。

    • 多氣體多量程選擇
    • MFC可選擇多種氣體種類(H2、N2、Air、He等),用戶可根據用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時,本公司提供不同量程MFC產品,用戶可根據需求進行選。

     

    技術指標

     

    項目

    參數信息

    最大量程

    50sccm~20slpm(可定制)

    精度

    ±1%F.S.

    線性

    ±1%F.S.

    重復精度

    ±0.2%F.S.

    氣體類型

    H2/He/N2/Air/Ar(可定制))

    響應時間

    1s

    壓差范圍

    <1MPa

    工作溫度

    0~50

    工作濕度

    0~95%R.H.(非冷凝)

    工作電壓

    24V±10%/12V±10%

    信號接口

    RS-485(Modbus),模擬電壓信號

    氣路材質

    不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層

    尺寸

    76×31×81mm

     

    工作原理

     

    氣體通過質量流量傳感器,控制電路通過模數轉換器讀取質量流量傳感器采集信號??刂齐娐犯鶕鞲衅髯x取值與控制信號設定值通過相關算法調節比例閥,從而精準控制氣體輸出流量。

     

    接線定義

     

    點號

    線色

    線號定義

    參數

    1 

    白橙

    GND

    電源地

    2 

    橙色

    VCC

    電源DC+12V/+24V

    3 

    白綠

    RS485B

    數字信號RS485B/-

    4 

    藍色

    RS485A

    數字信號RS485A/+

    5

    白藍

    GND

    模擬信號參考地

    6

    綠色

    SET

    模擬信號設定(0.5-4.5V

    7

    白棕

    I/O

    數字信號選擇(懸空或DC3.3V

    模擬信號選擇(與5管腳連接)

    8

    棕色

    OUTPUT

    模擬信號輸出(0.5-4.5V

    注:模擬信號與數字信號切換,需斷電操作。

     

    選型參考

     

    關鍵詞:
    流量計
    流量控制器
    質量流量計
    質量流量控制器
    MFC
    GT130D
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    未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

    相關文件

    • GT130D質量流量控制器使用手冊 - 2020618.pdf

      大?。?/span>
      2020-06-17 10:17:26
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