G300C流量控制器
G300C質量流量控制器
使 用 說 明
技術特點
高精度、高分辨率控制
低功率，功率＜2W
集成20種基礎氣體種類
可自定義10種混合氣體
控制參數自整定功能
數字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式
寬流量量程范圍
無需預熱
無安裝方向限制
具有高重復性和高可靠性
采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快
自帶溫度補償，補償范圍0-50℃
內部閉環控制，具有高穩定性
小封裝尺寸
精度簡介
可用量程：最大0-50slpm 最小0-1sccm
（常備量程請參考選型表）
量程比：1000:1
滿量程精度：±0.2%
讀取精度：±0.8%
可重復性：±0.2%FS
響應時間：＜100ms（調節PID控制參數可縮短響應時間）
應用領域
氣相和液相色譜儀
半導體工藝
環境監測設備
微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
氣體發生器
配氣混氣系統
功能介紹
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功能 |
說明 |
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流量控制 |
可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。 |
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累計流量 |
可通過Modbus-RTU協議讀取累計流量。 |
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獨立使用 |
無需連接任何設備，可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。 |
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多種量程選擇 |
最小量程1sccm，最大量程50slpm。 |
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內置20種基本氣體 |
內置20種基本氣體，氣體種類可定制。 |
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10種自定義混合氣 |
可根據使用需求，自定義混合氣。 |
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多電氣接口 |
標準配置1個DC插座，2個RJ45接口，1個DB9接口。 |
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模擬控制 |
0-5V模擬控制信號輸入輸出。 |
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數字控制 |
按鍵控制或使用RS-485通信控制。 |
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標準Modbus-RTU |
RS-485通信采用標準Modbus-RTU通信協議。 |
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參數自整定 |
控制參數可通過協議或按鍵實現自動調整到最佳PID控制參數。 |
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設定值記憶功能 |
開啟該功能后，MFC可記錄斷電前最后一次設定值，再次通電直接執行該設定值。 |
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閥控功能 |
可實現閥全開、閥全關、閥自動閉環控制功能。 |
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多臺設備串聯 |
通過更改通信地址，最大可實現255臺設備串聯控制。 |
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自定義波特率 |
可通過Modbus-RTU設置自定義波特率。 |
PS：通信協議兼容原型號（GT130D/GT180）設定流量和讀取流量。
技術參數
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運行參數 |
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讀數精度 |
±0.8% Rdg |
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滿量程精度 |
±0.2% FS |
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重復性 |
＜±0.2% FS |
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零點漂移和滿量程漂移 |
＜±0.02% FS/℃/Atm |
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工作范圍 |
0.5%-100% FS |
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量程比 |
1000:1 |
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典型響應時間 |
＜100毫秒（可調節PID參數達到更短時間） |
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啟動預熱時間 |
＜1秒 |
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標準工況 |
20℃&101.325kPa（標準工況溫度可通過RS485調整） |
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耐壓 |
1 MPa |
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安裝方向要求 |
無 |
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電氣參數 |
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工作電壓 |
DC 24V±10% / DC12V±10% （根據具體型號確定） |
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功率 |
＜2W |
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數字控制信號 |
RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作 |
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模擬控制信號 |
0-5V |
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電信號接口 |
DB9×1/RJ45×2 |
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物理參數 |
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閥門 |
比例閥（常閉） |
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通過介質 |
非腐蝕性氣體 |
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工作溫度 |
-10-50℃ |
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傳感器溫度補償范圍 |
0-50℃ |
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工作濕度 |
0-100%（非冷凝） |
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存儲溫度 |
-40~85℃ |
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泄漏率 |
＜0.020sccm He (壓差150psi) |
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各量程參數 |
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流量控制器量程 |
機械尺寸（長×寬×高 mm） |
氣路連接接口 |
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量程1sccm至100sccm |
80.8×28×85.5 |
M5 |
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量程500sccm至10slpm |
84.3×28×88 |
G1/8 |
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量程20slpm |
84.3×28×96 |
G1/8 |
選型參考
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