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    G300C流量控制器

    G300C系列質量流量控制器標配高精度傳感器和數字電路,數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設備同時使用。
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    產品描述

    G300C質量流量控制器

    使  說 明

     

    技術特點

     

    高精度、高分辨率控制

    低功率,功率<2W

    集成20種基礎氣體種類

    可自定義10種混合氣體

    控制參數自整定功能

    數字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式

    寬流量量程范圍

    無需預熱

    無安裝方向限制

    具有高重復性和高可靠性

    采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快

    自帶溫度補償,補償范圍0-50

    內部閉環控制,具有高穩定性

    小封裝尺寸

     

    精度簡介

     

    可用量程:最大0-50slpm  最小0-1sccm

    (常備量程請參考選型表)

    量程比:1000:1

    滿量程精度:±0.2%

    讀取精度:±0.8%

    可重復性:±0.2%FS

    響應時間:<100ms(調節PID控制參數可縮短響應時間)

     

    應用領域

     

    氣相和液相色譜儀

    半導體工藝

    環境監測設備

    微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD

    氣體發生器

    配氣混氣系統

     

    功能介紹

     

    功能

    說明

    流量控制

    可實現高精度、高重復性、多種氣體質量流量控制。

    累計流量

    可通過Modbus-RTU協議讀取累計流量。

    獨立使用

    無需連接任何設備,可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。

    多種量程選擇

    最小量程1sccm,最大量程50slpm。

    內置20種基本氣體

    內置20種基本氣體,氣體種類可定制。

    10種自定義混合氣

    可根據使用需求,自定義混合氣。

    多電氣接口

    標準配置1個DC插座,2個RJ45接口,1個DB9接口。

    模擬控制

    0-5V模擬控制信號輸入輸出。

    數字控制

    按鍵控制或使用RS-485通信控制。

    標準Modbus-RTU

    RS-485通信采用標準Modbus-RTU通信協議。

    參數自整定

    控制參數可通過協議或按鍵實現自動調整到最佳PID控制參數。

    設定值記憶功能

    開啟該功能后,MFC可記錄斷電前最后一次設定值,再次通電直接執行該設定值。

    閥控功能

    可實現閥全開、閥全關、閥自動閉環控制功能。

    多臺設備串聯

    通過更改通信地址,最大可實現255臺設備串聯控制。

    自定義波特率

    可通過Modbus-RTU設置自定義波特率。

    PS:通信協議兼容原型號(GT130D/GT180設定流量和讀取流量。

     

    技術參數

     

    運行參數

    讀數精度

    ±0.8% Rdg 

    滿量程精度

    ±0.2% FS

    重復性

    ±0.2% FS

    零點漂移和滿量程漂移

    ±0.02% FS//Atm

    工作范圍

    0.5%-100% FS

    量程比

    1000:1

    典型響應時間

    100毫秒(可調節PID參數達到更短時間)

    啟動預熱時間

    1秒

    標準工況

    20℃&101.325kPa(標準工況溫度可通過RS485調整)

    耐壓

    1 MPa

    安裝方向要求

     

    電氣參數

    工作電壓

    DC 24V±10% / DC12V±10% (根據具體型號確定)

    功率

    2W

    數字控制信號

    RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作

    模擬控制信號

    0-5V

    電信號接口

    DB9×1/RJ45×2

     

     

    物理參數

    閥門

    比例閥(常閉)

    通過介質

    非腐蝕性氣體

    工作溫度

    -10-50

    傳感器溫度補償范圍

    0-50℃

    工作濕度

    0-100%(非冷凝)

    存儲溫度

    -40~85

    泄漏率

    0.020sccm  He (壓差150psi)

     

     

    各量程參數

    流量控制器量程

    機械尺寸(長×寬×高 mm)

    氣路連接接口

    量程1sccm至100sccm

    80.8×28×85.5

    M5

    量程500sccm至10slpm

    84.3×28×88

    G1/8

    量程20slpm

    84.3×28×96

    G1/8

     

    選型參考

     

    關鍵詞:
    高精度
    質量流量計
    質量流量控制器
    體積流量控制器
    MFC
    流量計
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