GT200電子壓力控制器
GT-200氣體壓力控制器
使 用 說 明
產品特點
高精度、高分辨率控制，控制精度0.001psi（0-150psi量程控制精度為0.01psi）
功率低于1.75 W，低電壓直流5V
27×22×25mm（長寬高）超小封裝尺寸
數字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式
控制量程范圍-15Psig...150Psig
提供減壓型和背壓型兩種控制器型號
具有高重復性和高可靠性
采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快
自帶溫度補償
內部閉環控制，具有高穩定性
應用領域
氣相和液相色譜儀
半導體工藝
環境監測設備（如VOCS等）
微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
反應器壓力控制
氣體發生器
氣體流量控制
控制原理
GT200減壓型壓力控制器
GT201背壓型壓力控制器
GT202外部取壓型壓力控制器
GT203過程控制型（泄壓型）壓力控制器
技術參數
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物理參數 |
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閥門 |
比例閥 |
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通過介質 |
非腐蝕性氣體 |
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工作溫度 |
-20-85℃ |
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溫度補償范圍 |
0-50℃ |
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存儲溫度 |
-40~85℃ |
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泄漏率 |
＜0.020sccm He (壓差150psi) |
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重量 |
42g |
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長×寬×高 |
27×22×25mm |
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電氣參數 |
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工作電壓 |
DC 5V±10% |
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最大工作電流 |
＜350mA |
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功率 |
＜1.75W |
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數字控制信號 |
RS-485 MODBUS RTU |
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運行參數 |
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壓力范圍 |
-1~1psig / -15~15 psig / 0~60 psig / 0~150 psig |
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壓力精度 |
＜±0.25% FS |
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重復性 |
＜±0.25% FS |
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控制精度 |
0.001psi（150psi量程控制精度0.01psi） |
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響應時間 |
＜100ms（取決于入口壓力） |
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耐壓 |
150psid |
PS：psig表示表壓，性對環境氣壓壓力；psid表示差壓，設備進口與出口壓力差。
選型參考
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